引资源，促落地，布局半导体，为新基建蓄能

发布日期：2020-03-25

近日，经过重庆鲁汶智慧城市与可持续发展研究院（以下简称”研究院“）附属离岸创新中心--“INNOTECH Group （Norway）“的积极推动，研究院分管国际合作的副院长应春莉和比利时鲁汶大学微纳系统实验室（以下简称”实验室“）主任Kraft教授，通过“云签约”方式完成联合研发与成果转化的战略合作，双方团队和相关人员见证了此次签约仪式。双方将在新基础设施和医疗保健智能管理等领域，联合筹建“智能传感器系统双向研究中心”（以下简称“双向研究中心”）开展相关研究项目。

 虽然近期全球新冠疫情发展不容乐观，但研究院依然奋战在科研一线，完成此次引进合作，将是实现研究院对鲁汶大学又一重大科技资源引进导入，进一步落实半导体产业的战略布局，为我国新基础设施建设积蓄科技能量。双方将以双向研究中心为契机，集中精力在MEMS、高精度传感器、设计优化、智能系统、电路仿真、微细加工、电子工程、 纳米制造与制造、传感器开发、生物技术等领域，开展人才引智，技术与成套设备引进，本地化合作落地。 双方将进一步整合优势资源，通过整合芯片开发，先进传感器和封装技术以及先进的测量设 备，形成该领域高精技术的领军研发平台，可进行完整的 MEMS 智能系统的攻关技术研究， 对推动国内微纳系统的科研进步和发展具有深远的意义，同时助力我国 MEMS 领域的重点 实验室、晶圆厂等重要新基础设施开发建设。

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 鲁汶大学微纳系统实验室Micro- and NanoSystems (MNS)拥有世界领先的完善设施设备， 用于微型系统，MEMS 和芯片实验室设备的研发和小规模生产。通过最近对 IA ALD 设备和 高级电子束直接写入的投资，目前已可以对纳米级设备进行原型制作。多年来，洁净室对于 数百个小型或大型研究项目都是必不可少的，并且在微型传感器和执行器的设计及其制造方 面已经积累了丰富的专业知识。自 2015 年以来，该实验室设施已进行了重大更新，并搬迁 到了新的鲁汶大学纳米中心。除了对医疗设备，传感器和执行器的研究，实验室还被其他有 兴趣开发设备或进行微米和纳米级实验的研究小组所共享和使用。

Michael Kraft 教授作为研究院的知名海外专家，将就任该双向研究中心的外方负责人。

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 Kraft 教授在 1997 年获英国考文垂大学博士学位，之后加入美国加州大学伯克利分校担任博 士后研究员两年，于 2008 年在南安普敦大学成为正式教授，并于 2010 年至 2012 年担任新 成立的南安普敦纳米制造中心主任。2012 年，加入了德国最大最著名弗劳恩霍夫研究所 (Fraunhofer)，在杜伊斯堡领导微系统和纳米系统的研究，并同时在杜伊斯堡埃森大学担任 教授。他于 2015 年加入列日大学，自 2017 年 10 月以正式教授的身份加入比利时鲁汶大学。

 Kraft 教授对微机电系统(MEMS)和纳米技术具有广泛的兴趣和丰富的工业经验，他在多种 微和纳米系统以及微机电系统的设计，制造和表征方面拥有 20 年的经验，许多处于世界领 先地位。早在 2005 年他率领研究小组为 MEMS 加速度计开发了世界上第一个 5 阶 sigma- delta-modulator(SDM)接口，并在 2007 年开发了带通 SDM MEMS 陀螺仪。他在用于感 应和驱动应用的静电悬浮微型物体方面进行了开创性工作，并开发了能够操纵原子云甚至单 离子的微型制造的原子和离子芯片。最近，他将活动扩展到生物医学和生化传感器和设备， 例如在永久性植入物，可以测量生物反应器中条件的芯片和可以测量体液中微量生物分析物 浓度的传感器上工作。